Dans le procédé de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD), chaque connexion électrique, de la transmission de puissance RF au contrôle des gaz de procédé, influe directement sur l'uniformité du dépôt de couches minces et sur le rendement des puces. Face à l'environnement difficile des équipements miniaturisés, du vide poussé et des fortes interférences électromagnétiques,WAGOLes connecteurs picoMAX®, avec leurs trois principaux avantages que sont la « compacité, la fiabilité et l'efficacité », sont devenus la solution de connexion idéale pour les systèmes PECVD.
Conception compacte et innovante
Adaptation aux configurations de chambres de précision
L'espace interne des équipements PECVD étant limité, il est nécessaire d'agencer de manière dense les lignes d'alimentation, de signal et de détection autour de la chambre de réaction. Le picoMAX® utilise une conception à ressort unique et double effet, avec plusieurs pas de broches disponibles : 3,5 mm, 5,0 mm et 7,5 mm. Une fois connecté, il occupe 30 % d'espace en moins que les produits précédents, s'adaptant parfaitement aux contraintes de câblage autour de la chambre. Son connecteur à trous est presque entièrement intégré dans le porte-broches, permettant un montage côte à côte sans perte de pôles. Ceci améliore considérablement l'utilisation du circuit imprimé et permet un agencement ordonné des lignes de signal et d'alimentation sans perturber le flux de gaz du procédé.
Protection robuste contre les conditions de fonctionnement extrêmes
Les procédés PECVD impliquent un vide poussé, un plasma haute fréquence et des vibrations, ce qui impose des exigences strictes en matière de fiabilité des connecteurs. Le connecteur picoMAX® présente une structure stable et une résistance aux vibrations jusqu'à 12 g, empêchant ainsi le desserrage de la connexion dû aux vibrations haute fréquence. Il intègre également un système anti-erreur d'insertion et un dispositif de verrouillage, éliminant les erreurs d'installation et les déconnexions accidentelles, et garantissant un fonctionnement continu des équipements sans interruption.
Connexion rapide sans outil
Le picoMAX® est doté d'une technologie de connexion rapide sans outil, permettant des connexions « plug-and-hold » pour les fils monobrins et multibrins avec connecteurs à sertir à froid. Les connexions complexes sont réalisées en une seule étape, ce qui améliore considérablement l'efficacité d'assemblage et raccourcit les cycles de débogage. Sa conception modulaire est compatible avec les procédés de brasage par refusion, répondant ainsi aux exigences de réduction des coûts de la production automatisée. Il couvre également tous les scénarios de connexion PECVD : le pas de 3,5 mm accepte les fils de signal de 0,2 à 1,5 mm², tandis que le pas de 5,0/7,5 mm prend en charge les lignes d'alimentation de 16 A. Il prend en charge les méthodes d'installation fil-à-carte et traversante, est compatible avec le câblage en armoire électrique et en cavité, et est conforme aux normes de sécurité électrique GB/T 5226.1, garantissant ainsi une stabilité de processus optimale.
Dans l'industrie des semi-conducteurs, où la précision des processus à l'échelle nanométrique est primordiale, des connexions fiables sont la garantie d'un rendement élevé.WAGOGrâce à son concept révolutionnaire, picoMAX® offre un format compact et des performances élevées, tout en assurant des solutions de connexion stables, efficaces et durables pour les équipements PECVD. Ceci permet aux fabricants de semi-conducteurs de relever les défis liés aux connexions de précision et de garantir la précision micrométrique de chaque puce.
Date de publication : 13 mars 2026